扩散硅压阻式压力传感器(高压)
8系列压力传感器装TAB胶粘式测量元件,十分耐用。甚至受到
压力最大值影响也如此。其专用于测量高压。400~1000bar压力范围
的8系列用厚的玻璃引线和丝焊式测量元件。
高灵敏度压阻式硅芯片用于压力感受。由密封的不锈钢外壳(用
同心波纹膜片密封)保护芯片免受外界环境影响。为使膜片上的压力
传到敏感元件,在壳体内灌硅油。
同压力介质接触的一切金属件均由不锈钢316L制成。全焊接式外
壳密封成真空。
典型用途:生产过程,航空电子设备,随动操纵装置,机器人技
术……
耐用的压力传感器
浸在硅油中的压阻式芯片被焊接到不锈钢316L外壳中。
高灵敏度
在所有的标准压力范围,以4mA供电电流可得到900mV信号。
适用性
类型:绝压和密封式表压。9个标定测量范围(从10到1000bar)。
不同的材料和灌入油(见选用项)
质量
每个压力传感器都经过压力响应与温度特性的补偿试验,都有合格
证书,合格证上说明试验结果和特性。假如用户要求,可作专门试验。
8 系列
技术条件
压力范围(FS)和超压(bar),信号输出(mV)
PAA-8 10 20
PA-8 10 20 50 100 200 400 600 1000
信号输出(典型) 900 900 900 900 900 900 900 900
超压 20 40 100 200 300 600 900 1100
PAA:绝压,在真空时为零点 PA:密封式表压:在大气压时零点(在校准日)
电桥电阻25℃ (Ω) 3500 ±20%
恒电流供电 (mA) 4(标称) 5(最大)
绝缘50VCC (MΩ) 100
使用温度 (℃) -30…100 -55…150(选用)
补偿范围 (℃) 0…50(1) -10…80(1)
贮存温度 (℃) -40…100 -60…150
振动(20…5000HZ) 20g
耐用性(周期) (FS 25℃) >100×106FS
外壳和膜片 不锈钢,类型316L
密封圈 氟化橡胶(1)iΦ12×1.5mm
注入油 硅油(1)
重量 13g
绝对体积变化 (25℃) <0.1mm3/FS
电缆(选用) 0.09mm2,12×Φ0.1mm,硅护层
绝缘250V,0Φ1.2mm,长度7cm(1)
精度(2) (%FS) 0.5(典型)(1) 1最大
偏移(在25℃) (mA) <20(用22Ω R5补偿(3))
温度偏差 0…50℃ ─10…80℃ -55…150℃
零点 (mV/℃) <0.10 <0.20 <0.30
灵敏度 (%/℃) <0.01 <0.03 <0.07
长时间稳定性(典型) (mV) 2 3 5
自然频率(谐振) (KHZ) >30
注(1)其它按要求:
(2)包括线性,迟滞和重复性,按照过零点的最佳直线计算线性;
(3)外部补偿,没提供补偿电位计。
选用项目
-铂或耐蚀镍基合金C-276膜片,镀金膜片
-传感器全部为耐蚀镍基合金C-276
-低温油,氟化油、橄榄油
-特性:线性、超压、较低的TC零点
-专门试验
-在100和1000bar之间的一切压力范围
-在-55和+150℃之间的一切压力范围
-补偿PCB
PA-8/8467-1000(1) SN CB330(2)
(3)温度 (4)零点 (5)-100 (6)补偿 (7)d零点
-6.9 -50.5 53.6 -30.1 -1.4
2.4 -50.8 57.0 -29.7 -1.0
26.2 -52.1 67.4 -28.7 0.0
50.6 -54.4 79.5 -28.1 0.6
80.2 -57.4 97.5 -27.0 1.6
补偿 R2=510KΩ(8) R4=27.0Ω(1)
零点 -1.7mV(9) P (标准大气压) 962mbar(10)
灵敏度 0.795mV/bar(11)
(12)(bar) (13)(mV) (14)线性 (15)线性
500.00 395.6 -0.23 -0.18
1000.00 796.7 0.23 0.18
长时间稳定 OK(16)
芯片 2.5(6.1306.02)(17)
激励 4.0mA(18) 500V试验(19)
01.10.97(20)------------------------------------------------------FLOH.LO2F00(20)
每个传感器提供下述数据的计算图表
注:
1. 类型(PA-8),图号(8467),压力传感器的量程(1000bar)
2. 压力传感器顺序号(按需求刻上)
3. 实际试验温度
4. 没有补偿的零点偏移(mV)
5. 零点偏移值(mV),用试验电阻(100KΩ),(只为系数计算用)
6. 零点偏移(mV),用计算的补偿电阻R1或R2
7. 温度零点误差(mV),用补偿电阻R1或R2
8. 补偿电阻R1/R2和R3/R4
9. 用补偿电阻R1/R2和R3/R4时的偏移(用R5补偿电位计进行零点细调)
10.环境压力,绝压传感器(<20bar)的零点基准
11.压力传感器的灵敏度
12.压力试验点
13.压力试验点的信号
14.线性(通过零点的最佳直线)
15.线性(最佳直线)
16.长时间稳定性结果
17.芯片类型(按需求,硅芯片的标号)
18.激励(恒电流)
19.电压绝缘试验
20.试验日期 试验设备
附注:
-这里所说的技术条件只适用于恒电流供电,传感器在0.5和4mA之间的电流范围激励,当在恒电压下激励时,零点偏移值保持不变,灵敏度减小约1%/+5℃
-若放在极端温度中,则补偿电阻有<50ppm/℃温度系数,传感器和电阻可放在不同的温度环境
-传感器可用集成式补偿电阻调整 |