真空镀膜机

设备构成

离子镀膜设备根据用户要求，主要针对装饰镀膜，适用于各类中小尺寸的工业产品，如表壳表带、眼镜架、建筑五金（如门把手）、卫浴洁具、箱包饰品、灯饰、钢笔配件和工艺手饰等。通过对工件表面在物理、化学、机械、颜色和光泽等方面的改性，达到装饰的效果。

  本套设备由真空室，真空系统，系统控制柜和电源柜组成。

a.     真空室包括：桶体，底座，转架和约十个弧源。

b.    真空系统包括：扩散泵，罗茨泵，机械泵和真空管道。

c.    系统控制柜包括：六层电器控制机箱和电源。

d.    电源柜包括：十台弧电源。.

设备参数

a.     极限真空度: 1×10^-3Pa。

b.    抽速：<15分钟（从大气-3×10^-2Pa）

c.    小弧源直径：100mm

d.    小弧源数量：10个

e.    小弧源电流(钛靶)，带自动引弧装置：50-100A

f.    脉冲偏压电源: 轰击时1000V，15A

g.    镀膜时: 150V, 40A

h.    烘烤电源功率:10KW

i.    三路供气系统: 三支质量流量计供气

j.    工件转速（rpm）:公转，1-2

k.    电控特点:手动操作或自动

应用范围

可进行下列各种涂层加工：

a.        氮化钛(TiN)：硬度为2300～2500HV，磨擦系数为0.65，颜色是金黄色。

b.       氮化锆(ZrN)：硬度为2000～2300HV，磨擦系数为0.55，颜色是青黄色。

c.        氮化铬(CrN)：硬度为2000～2300HV，磨擦系数为0.5，颜色是银色。

d.       碳氮化钛(TiCN)：硬度为3000～3500HV ，磨擦系数为0.5，颜色是紫色。

e.        氮化钛铝(TiAlN)：硬度为2400～2600HV ，磨擦系数为0.68，颜色是青铜色。