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硅片显影设备

北京华林伟业公司

产品型号:
产品价格:	价优
产品品牌:	华林

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联系人：张健

所在区域：	北京.北京
办公地址：	北京市通州区宋庄镇小堡工业区华林街
邮　　编：	101118
电　　话：	010-69592203-8025
移动电话：	13321111993
传　　真：	010-69595208-8008
电子邮件：	hlzhangjian@126.com

公司主页：	http://www.bjhualin.com

详细描述:

　　显影机
　　1．概述：本设备可用于半导体工艺中对2″~8″硅片进行显影和定影，该产品技术先进、一致性强，适用于规模生产。
　　2．整台设备材料均为进口。
　　3．本设备为双排槽构成，每排7槽，各设一套机械手，两排可独立同时完成相应的工序。
　　4．本设备除装片和取片需人工外，其余工艺动作均可自动完成。
　　5．每槽装片能力：50片/批（2花篮，25片/花篮）。
　　6．工作区洁净度：100级。
　　7．槽间工艺转换时间：Tm ax≤3.5S

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