1、主要应用于LCD、LED、连接器、键合前等大规模生产领域。

 

2、所有元器件及核心部件采用进口，保证了整机的稳定性和使用寿命。

 

 3.真空泵采用进口旋片泵，是适用于等离子工艺环境使用的可长时间工作的体系， 在抗氧化、耐腐等诸多方面积累了丰富的经验，使泵的寿命大大提高，并有效降低了泵的维护成本，泵的各项保护措施完善，提高了长时间工作极限，泵油为耐高温、抗氧化油，泵具有可自行缓解温度过高的散热体系，无需水冷。泵体内置于机柜内部，使机器紧凑，占地面积小。

 

4.自动控制系统采用PLC加触摸屏控制，所有工艺参数、工艺过程实时监控，并显示运行状态、报警记录和工艺曲线记录、工作时间纪录，适合维护，可以提供工艺参考。

 

5.可存储50组工艺配方，随意调用。

 

6.清洗时间、洁净压力、射频功率、工艺气体流量、设定可调。

              

7.工艺参数受密码保护，分级密码管理查询。

               

8.一键完成全自动工艺，实时故障报警、非法操作提示、清洗结束提示等。

               

9.自动提醒系统维护、更换真空泵油等，避免机器过载、过老化情形下工作，延长使用寿命。

               

10.气体质量流量计采用美国进口，由模拟量输入输出，量程为0～200sccm可在量 程范围内无级调节，根据特殊的工艺要求可用PLC对质量流量计进行PID调节而实现真空度的控制。

               

11.根据特殊的工艺要求可使用干泵，尾气处理设备，油过滤器，过滤返油装置等,电极结构（专利申请中）的高等离子通量设计能很好地提高等离子体的均匀性及稳定性。中型等离子处理机主要技术数据及规格

 

标准型号

 

技术配置

 QT-48-PSP

 QT-80-PSP

 QT-120-PSP

 

外形尺寸(WHD)

 900mm×1500mm×1000mm

 900mm×1500mm×1000mm

 900mm×1600mm×1000mm

 

反应仓尺寸

 W400mm×H300mm×D400mm

 W450mm×H400mm×D450mm

 W450mm×H600mm×D450mm

 

真空腔体材质

 不锈钢加铝内衬

 

电极板有效面积

 320mm×280mm×4

 360mm×340mm×5

 360mm×340mm×6

 

等离子电源

 美国进口

 美国进口

 美国进口

 

电源功率

 0～600W

 0～600W

 0～1000W

 

电源频率

 13.56MHz

 13.56MHz

 13.56MHz/40kHz

 

极限真空度

 2 Pa

 2 Pa

 3Pa

 

PLC控制系统

 西门子PLC 模拟量控制实现所有信号数据集成

 

人机界面

 5.7英寸触摸屏

 7.1英寸触摸屏

 10.4英寸触摸屏

 

MFC

 美国进口质量流量计（MFC）控制精度达1sccm

 

工艺气体流量

 0～100sccm

 0～200sccm

 0～200sccm

 

电磁阀

 日本进口、超长时间低温工作

 

工作压强

 10-130Pa

 

不锈钢气体管路

 内外高精度抛光，气阻小，流量可高达100L/min。

 

单次处理时间

 10-15分钟

 

真空泵系统

 德国

 德国

 德国/日本

 

参数功能

 配方控制，处理时间、射频功率、气体流量设定可调

 

所需环境配置

 

电：AC380V/50Hz  3P，5W RE

 15 A

 20 A

 25 A

 

供气管路

 0.2至0.6MPa，管径φ6

 

环境

 最高28℃良好换气通风

 

湿度

 30%～85%

 

选配功能

 

腔体及电极

 可据客户要求设计

 

电源功率

 500-2000w之间选配

 

质量流量计

 流量量程及路数可增减

 

干泵

 可据客户要求配置

 

尾气处理器

 可选配

 

过滤返油装置

 可选配

 

油泵低液位报警

 可选配