| .主要适用于实验、科研、医学及小规模的生产领域。
2.特点：成本低，整机机械、电气结构简单、实用，易维护。
3.控制方式：手动或自动控制模式，利用各简单元器件的巧妙
组合成自动控制体系，各参数调整好后，一键完成整个清洗工艺。
4.电源功率、清洗时间、气体流量、净化真空度等参数可设置。
5.射频电源手动匹配（自主研发的全固态晶体管输出型）
6.浮子精密气体流量计、针阀等控制工艺气体流量。
7.清洗完成有提示音
8.反射功率过大报警
9.工艺气体耗尽报警
10.泵热过载报警
11.反应仓泄漏报警
12.电极采用高通量等离子结构，牢固可靠易拆卸。
13.反应仓为矩形不锈钢腔体，水平电极板放置，间距可调。
14.真空泵采用双腔式旋片泵，极限真空度可达2Pa以下，一般采用外置。
15.真空泵可选配液位低报警装置
小型等离子清洗机主要技术数据及规格：
标准型号
技术配置
QT-12-PSP-
QT-24-PSP
QT-36-PSP
外形尺寸
W700mm×H900mm×D600mm
W700mm×H900mm×D600mm
W700mm×H900mm×D650mm
反应仓
W250mm×H200mm×D300mm
W300mm×H250mm×D320mm
W340mm×H305mm×D350mm
真空腔体材质
不锈钢加铝内衬
电极板有效面积
140mm×200mm×4
240mm×220mm×5
280mm×260mm×6
电源功率
0～300W
0～300W
0～600W
电源频率
13.56MHz
13.56MHz
13.56MHz/40kHz
洁净真空度
15Pa
15 Pa
1 0Pa
控制系统
半自动控制/全自动控制，继电器加定时器控制体系
单次处理时间
8-15分钟
气体控制
2路精密气体流量计+针阀+高抛光不锈钢管路
流量精度
+2sccm
工作压强
10-90Pa
真空泵系统
德国/国产
德国/国产
德国/日本/国产
参数控制
处理时间、射频功率、气体流量可调
所需环境配置
供电环境
AC220V/50Hz8A + 独立PE线
供气管路
0.2至0.6MPa，管径φ6
环境
最高35℃良好换气通风
湿度
30%～85% |
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