美国AALBORG质量流量计

Instruments & Controls, Inc成立于1972年，是世界上著名的气体质量流量计/控制器的生产
厂家，其产品广泛用于微电子工艺、真空镀膜、 材料科学 、石油化工、医药、环保等领
域。产品特点：性价比高、响应速度快、可靠性高，易于集成、环路保护、备总
量计数器典型应用：CVD、PVD、刻蚀、等离子注入、溅射、ITO、玻璃镀膜、
表面处理等镀膜工艺 。设计特点：－刚性金属结构 －流程范围从0开始到10
sccm直到0到1000slpm －最大压力500psig（34.5Bar） －泄漏率1＊10-7氦
气 －NIST系统标定可追踪的证明 －可倾斜的LCD读表 －0-5Vdc或4-20m
A信号输出 －电路保护 －可用作便携式的设备 －0到100％比例显示 －可
配备流量计算机 精度：±1.5％满量程，包括59℉到77℉的气体温度（1
5℃到25℃）和5到60psia（0.4到4.1bar）的压力。可选±1％满量程（
标定精度），在给定的温度与压力值条件下。 重复性：±0.5％满量
程 回应时间：实际流速±2％超过满量程25-100％一般2秒 温度系数：
0.15％满量程／℃ 压力系数：0.01％满量程／psi（0.07bar） 气体
／周围温度：32℉-122℉（5℃-50℃） 输出信号：0-5Vdc，最小
1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路电阻 传感器输出：＋12Vdc；
最大200Ω。