产品简介

NW101系列产品是由无锡市纳微电子有限公司提供的扩散硅压阻式压力传感器。本系列产品具有与被检测压力成良好线性关系的毫伏级输出信号及优异的重复性与稳定性，适用于陶瓷、PCB、TO管等多种封装形式。NW101系列产品采用硅-硅键合技术，减小芯片尺寸（仅1.0 x 1.0 mm2）并降低其成本，为客户提供了极具性价比优势的选择。

脚位定义

	脚位编号 脚位定义 1 Vs+（Sub）: 供电电压输入端 （衬底） 2 Vout+: 输出信号正极 3 Gnd1: 接地端 4 Gnd2: 接地端 5 Vout-: 输出信号负极
※注：NW101为扩散硅压阻式压力传感器，硅衬底（Sub）与高电位Vs+相连，因此使用过程中必须保证供电电压输入端（Vs+）电位高于接地端（Gnd1与Gnd2）电位。

参 数1		最小值	典型值	最大值	单位
工作电压		--	5	10	V(DC)
工作压力范围		700、1600			KPa
芯片尺寸2		1.0 x 1.0			mm2
电桥电阻		4.5	5	5.5	KΩ
零点输出		-20	0	+20	mV
满量程输出	700KPa	60	80	100	mV
	1600KPa	60	80	100	mV
线性度3			±0.2	±0.5	%FS
电阻温度系数4		+1900	+2200	+2500	ppm/℃
灵敏度温度系数4		-1800	-2200	-2500	ppm/℃
零点输出温度系数4		-60	--	60	μV/℃
压力迟滞5		--	--	±0.2	%FS
重复性6		--	--	±0.2	%FS
温度迟滞7		--	--	±0.2	%FS
过载压力		--	--	3X	--
破坏压力		--	--	5X	--
工作温度		-40	--	125	℃
存储温度		-40	--	150	℃
※注： 1、如无特殊声明，所有数据均在供电电压Vs+=5VDC，室温环境下测试完成； 2、进行切片工序之前尺寸； 3、最小二乘法拟合直线； 4、0~50℃范围内测试数据； 5、压力传感器芯片进行工作压力最小值到最大值（正行程）及最大值到最小值（反行程）压力循环，压力范围内任意压力下的输出值在正行程时与反行程时的偏差； 6、同5中的测试方法，进行3次正反行程压力循环； 7、零点输出在传感器进行一次-40~+125℃温度循环前后的偏差值。