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应用对象包括:刻蚀、RIE、PECVD、ICP、射频溅射、CVD和PVD等系统,也可作为工厂业系统中感应加热和电介质加热设备的电源
单频射频电源 、双频射频电源 、 直流电源 、ESC静电卡盘电源 、自动调谐匹配网络。
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ADVANCED ENERGY AE05722B 2300 RFG 5500 NOVELLUS CONTROL
ADVANCED ENERGY SPARC Series: Sparc-le 20,Sparc-le V,Sparc VS E'Wave DC Pulsing Accessoires : DC PULSAR
AC( 交流 / 中频系列 ) :
PE: PE 1000,PE 2500,PE 3750,PE 5000,PE-10K,P E-20K,PE-30K,PE-1000SG PE II PE II 5KW,PE II 10KW,PE II 60KW
PDX :PDX 500,PDX 900-2V,PDX 1250,PDX 1400,PDX 2500,PDX 5000,PDX 7.5K,PDX 8000,PDZ 2200,MSD 350W
PDW 600,PDW 2200 ; PDP 2500,PDP 3500 ; PEP 250,PEP 2500,PEP 5000
Dressler LFGS:LFGS 1250A,LFGS:LFGS 1250B,LFGS:LFGS 1250C,LFGS:LFGS 1250D
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