项目 M2030V 型 M2030A

1 流量规格（N2） 10sccm ～ 30slpm

 (可以根据客户要求在10sccm到30slpm中任意一段量程进行标定）

2 准确度 ±1% F.S （Full Scale）

3 重复精度 ±0.25 % F.S （Full Scale）

4 响应时间 ≤3sec ( 特别要求：:≤1sec )

5 耐压 95 bar

6 工作环境温度 5 ℃ ~ 65 ℃

7 输入输出信号 0 ~ 5Vdc  or  4 ~ 20mA

8 电源 ±15Vdc, 350mA

9 外形尺寸

总长：依进气口、出气口接头规格而定

宽：36mm 高：138mm

M2100V 和M2100A 型气体质量流量计（MFM）性能指标

项目 M2100V 型 M2100A

1 流量规格（N2）25slpm ～ 30slpm

(可以根据客户要求在25slpm ～ 30slpm中任意一段量程进行标定）

2 准确度 ±1% F.S （Full Scale）

3 重复精度 ±0.25 % F.S （Full Scale）

4 响应时间 ≤3sec ( 特别要求：:≤1sec )

5 耐压 95 bar

6 工作环境温度 5 ℃ ~ 65 ℃

7 输入输出信号 0 ~ 5Vdc  or  4 ~ 20mA

8 电源 ±15Vdc, 350mA 

1 结构

气体质量流量计由流量传感器( Sensor )，分流器通道和流量放大电路等部件组成；在气体质量流量计的基础上，再加上调节阀门和PID 控制电路就构成了气体质量流量控制器。M 系列气体质量流量控制器.

M2030气体质量流量计与M3030型气体质量流量控制器相比，在结构上它们的不同点是，M2030气体质量流量计少了电磁调节阀（Solenoid Valve），其它部分基本相同。 

2 工作原理

流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理气体的质量流量（无需温度压力补偿）。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大，放大后的流量检测电压与设定电压进行比较，再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使用之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与之配套的FM-30VE 系列Readout Box上设置有稳定电源，3位半数字电压表，设定电位器，外设、内设转换和三位阀控开关等。相控制器与流量显示仪连接后的工作原理。   

控制器输出的流量栓检测电压与流过通道的质量成正比，满量程（F.S）流量检测输出电为＋5V。气体质量流量控制器的流量控制范围是（2~100）％F.S ( 程比为50:1 )，流量分辨率是0.1％ F.S。

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范寅烨 13917099687